低温等离子分解法是近几年发展起来的一种针对低浓度有机废气处理的新型方法，在实验室其对苯类的分解净化可达85%以上，在实践应用中因工况影响其净化率也可达到70%以上，经过几年的发展其在废气治理领域的应用以取得了不小的成绩和社会效益。
其工作原理是，有机废气在常温条件下通过等离子体低温等离子场时，在高强场、宽范围的离子场作用下，有机废气中所含的HC化合物的分子链被打断，经过电场进一步作用下，重组转化为CO2和H2O，物、化反应产生的热量已被气流带走，为此有着以下优点：
1、净化率高，可满足低浓度废气净化达标要求；
2、造价低，减少投资；
3、使用方便，随时开机，随时使用，不需要预热过程；
4、维护保养简单，电控部分除电子元件正常老化外不需要更换；
5、安全可靠,设备设计采用敞开式排放形式不设封闭高压工作区，使用低温等离子方法不设高温工作区。